艾明坷科技（北京）有限公司

手套箱应用领域及用途

手套箱应用领域：

1、半导体工业中MOCVD技术

2、特种灯（HID）开发与生产

3、微电子、激光及等离子焊

4、OLED/PLED开发与生产

5、锂离子电池开发与生产

6、无机/有机化学研究

7、金属卤化物/金属粉末/陶瓷粉末研究

8、纳米材料研究

9、催化剂研究

10、YAG激光焊接

用途：操作需要隔绝空气进行实验，保护实验者免受有毒化学品的伤害。比通风柜隔绝彻底，但操作起来比较不便。主要用于毒性特别强的情况。进行可能造成严重生物性危害的实验，例如病菌。

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手套箱故障分析

一、手套箱不断抽真空

1. 过渡舱舱门未关严；

2. 脚踏是否被东西压住；

3. 电磁阀块上<净化柱抽气阀>是否被杂质卡住；

4. 电磁阀块上<箱体抽气阀>是否被杂质卡住。

二、手套箱用气量增大

1. 在从工作气气源到设备的管路有泄漏，气源处钢瓶口漏气、阀块上进气管接口漏气；

2. 高真空挡板阀气体泄漏；

3. 高真空挡板阀的压力管出现漏气，依次检查。

真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。产品技术和质量达到或超过国际知名品牌的水平，目前已为PHILIPS、OSRAM（德国）、GE、AIXTRON（德国）、三菱、三洋、PLANSEE等国际知名品牌稳定供货并取得丰富的国际合作经验。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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